接下来两天，主楼会议室的门，几乎从未关闭。
烟雾缭绕的空气里，混合着钢笔划过纸张的沙沙声、激烈的辩论声、偶尔因找到思路而提高的兴奋语调，以及暖气管片单调却持续的嗡鸣。
讨论进入了真正的深水区。
不再仅仅是确定“五微米”这个目标，而是围绕着如何实现它、稳定它，以及看清下一步的路径，展开了一场场触及筋骨的“技术解剖”。
光刻技术本身，被拆解成一个个子系统。
光学部的张工将一叠厚厚的像差分析数据拍在桌上：“球差、彗差、像散、场曲……我们的复消色差物镜设计理论没问题，但加工装配的累积误差让这些‘魔鬼’全跑出来了。尤其是这个场曲，视场边缘的像质塌陷得厉害，导致芯片边缘的图形永远比中心的模糊、变形。”
他指向一张光学传递函数曲线图，边缘视场的曲线就像体力不支般早早垂下了头。“不解决这个，五微米工艺的均匀性就是空谈。我们需要更精密的定心磨边机，需要装配环境恒温恒湿，更需要一套严格的装调检测流程，而不是靠老师傅‘感觉’对上了就行。”
精密机械室的王工接着摊开工作台的运动误差分析图，那上面用不同颜色的线条标注着定位误差、直线度误差、角度摆动误差，像一幅抽象的、令人头疼的地形图。
哈工大的周工补充道：“蜗轮蜗杆的背隙可以调，但磨损带来的误差是时变的。更麻烦的是导轨的直线度，我们在三米长的花岗岩平尺上检测，微米级的起伏像连绵的小山丘。工作台跑过去，就像车开在坑洼路上，能不抖吗？”
他带来的振动测试记录显示，车间地面的低频振动频谱与工作台误差出现的高峰时段惊人地吻合。
“隔振是系统工程，光给光刻机穿‘厚底鞋’不够，得给整个车间，甚至整栋楼做‘减震地基’。”
材料匹配成了新的焦点。
光刻胶，这种当时国内尚属空白、完全依赖极少量进口或简陋自配的神秘感光材料，其性能的不稳定成了最大的“黑箱”。
专门研究光刻胶的工程师苦笑：“不同批次的胶，灵敏度能差一倍；涂胶的均匀性，转速差十转，厚度能差几十个纳米；前烘温度波动两度，显影时间就得跟着变。我们现在是在用做化学实验的精度，去要求微米级的图形转移。没有标准化的胶，没有自动化的涂胶显影设备，工艺窗口窄得像条缝。”
检测与良率控制，更是让所有人眉头紧锁。
如何判断一块曝光后的图形是合格的，靠老师在显微镜下一片片数线条、量宽度，效率低下且主观。
陈光远指出：“我们需要快速的、定量的检测手段。哪怕是最简单的光学对比度测量仪，或者自己搭建一套基于光电倍增管的透光率扫描系统。把‘看起来差不多’变成‘数据达标’。良率统计也不能只算最后封装测试通过的，要从涂胶开始，每一步的损耗、缺陷类型和数量都记录下来，画出‘缺陷地图’，倒逼前道工序改进。”
讨论从单项技术，不可避免地扩展到系统集成。
光刻机不是光学、机械、控制、材料的简单堆叠，它们之间存在着复杂的耦合与干扰。
武水院的赵工再次强调了电力质量问题，并提出了一个更细致的监测方案。
在光刻机电源入口、控制柜、乃至关键电机和灯源处，都加装简易的电压电流记录仪，同步记录时间戳，一旦出现曝光缺陷，可以回溯到是否是某一时刻的电网扰动所致。
这个想法得到了积极响应，记录数据、建立关联，正是他们开始共识的工作方法。
就在讨论有些陷入“问题太多、无从下手”的疲惫感时，吕辰将之前与宋教授、谢凯推敲过的两个跨界思路，正式提了出来。
“第一个思路，我们称之为‘模拟实验与数字化双胞胎’。”吕辰走到黑板前，画了一个光刻机的简化示意图，又在旁边画了一个虚拟的方框。
“在真正昂贵的硅片和光刻胶上试错，成本太高。我们能不能先纸上谈兵，再沙盘推演？”
他解释道：“纸上谈兵是指，集中数学和物理力量，尝试建立光刻过程的关键数学模型。比如，光源通过物镜成像的光强分布模型、光刻胶曝光反应的化学动力学模型、甚至初步的热膨胀和应力变形模型。不用很精确，哪怕是最简化的版本，也能帮助我们理解各参数之间的影响关系，预测可能出现的缺陷模式——比如，如果照明不均匀度超过5%，边缘线条宽度会如何变化？”
他顿了顿，看到几位理论出身的研究员眼睛开始发亮，继续道：“沙盘推演则更直观。我们可以用透明玻璃或石英片代替硅片，用掺有荧光染料或遮光微粒的特殊液体模拟光刻胶的流动和分布。用改装的电影摄像机加显微镜头，拍摄曝光瞬间光强分布的变化、模拟胶在旋转涂布时的流动形态。这能让我们看见过程，比如基片表面微小不平整如何导致胶厚不均，气流如何干扰图形。”
陈光远摸着下巴，沉思道：“这个思路……跳出了就设备论设备的圈子。有点像打仗前的侦察和推演。模型可能不准，模拟可能失真，但能给我们方向，减少盲目试错。尤其是那个‘看流动’的想法，很有意思。光学我们擅长，流体力学……所里也有相关专业的人，可以试试。”
“第二个思路，是关于标准化与模块化。”谢凯接过话头，他拿出几张草图，上面画着光刻机几个主要功能模块的分解图，以及设想中的接口定义。
“我们现在造的是原型机，一切以能跑通为首要目标。但未来要走向稳定生产和迭代升级，就必须考虑架构的可持续性。”他指着图纸说，“比如，能否定义一个照明模块接口，规定光强、均匀度、光谱的标准测试方法和连接方式？这样，未来光源升级了，可以相对独立地替换和验证。同样，物镜模块、工作台模块、控制柜……都尝试进行接口和性能的标准化定义。”
他拿出另一份清单：“还可以开发一套光刻工艺工具箱。不是实物工具箱，而是一套文件和技术规范。比如，一个常用图形库，每类图形都附带经过验证的、针对我们当前这套五微米工艺的推荐曝光参数范围。再比如，一份典型缺陷图谱及可能原因分析指南。让新来的工程师，不是从头摸索，而是站在一个基础平台上工作。”
上海机床厂的刘工立刻表示共鸣：“这个好！我们机床行业也在尝试搞部件标准化。如果光刻机的核心部件能有相对统一的接口和性能标准，我们加工起来目标更明确，也便于批量制备备件，不至于一台机器一个样，维护起来要命。”
激烈的思想碰撞持续了两天。
会议室的烟灰缸满了又清，清了又满；稿纸写满了一张又一张；暖水瓶来回打了好几次。
最终，所有的讨论、争执、建议和共识，都凝结成了一份沉甸甸的《“星河计划”光刻及关联技术关键问题与需求清单》。
这份清单不再是泛泛而谈，而是分门别类，清晰地列出了：
光学系统：特定规格的定心磨边机需求、高精度干涉仪需求、像差在线检测方案设想……
精密机械：超平花岗岩平台加工精度指标、新型减振材料试验需求、工作台寿命测试方法与标准草案……
工艺材料：光刻胶性能标准化指标建议、涂胶显影设备原理样机设计需求、工艺窗口实验设计……
控制与检测：多路同步数据采集系统方案、快速线宽测量装置技术指标、缺陷自动识别算法预研方向……
系统与标准：“光刻模块接口标准”草案编制任务、“工艺工具箱”内容框架与分工……
前沿与模拟：光刻过程简化数学模型研究课题、流体\/热力学模拟实验方案与设备需求……
每一个条目后面，都初步标注了负责或牵头单位、建议解决路径、以及期望的时间节点。
这份清单，将由宋颜教授带回北京，提交给“星河计划”领导小组，成为协调全国力量、下发攻关任务的直接依据。
临别前夜，陈光远在所里小食堂安排了一顿简单的送行饭。
依旧是朴素的饭菜，但气氛格外热烈。
大家以茶代酒，互道珍重。
“宋教授，小吕，小谢，你们这一趟，给我们带来了很多新想法啊。”陈光远感慨道，“不光是技术上的，更是一种做事的方法和思路。先瞄准能打到的目标，用数据说话，用系统思维解决问题，还要看得更远……这些，比单纯解决几个技术难题更重要。”
宋颜教授郑重道：“陈所长言重了。长光所的务实作风和攻坚精神，才是我们学习的榜样。这份清单是大家共同智慧的结晶，我们一定带回去，全力推动。明年四月，等着你们的好消息！”
“一定！”长光所的同志们异口同声，眼中充满了坚定的期待。
正说着道别的话，吕辰忽然开口：“宋教授，谢师兄，这两天我们反复讨论光刻机的振动、温漂和稳定性问题，其实都是设备‘健康状态’的监测与控制。这让我想到了咱们的‘电子耳朵’。”
他转向陈光远，解释道：“陈所长，我们研发了一套基于振动和声音的故障早期预警系统，对旋转机械特别有效。刚才听周工说油田的设备故障率高，维护全靠老师傅的经验……”
陈光远眼睛一亮：“我明白你的意思了！你们想去大庆看看？那边的钻机、柴油机、抽油机，全是铁疙瘩，坏了就影响产量。你们那‘电子耳朵’我知道，的确能派上用场，能解决大问题！”
宋颜教授沉吟片刻，看了眼吕辰和谢凯眼中跃跃欲试的光芒，点了点头：“也好。我们搞科研，最终就是要服务于国家工业。去亲眼看看国民经济一线最迫切的需求，对我们把握研发方向有百利而无一害。只是……时间要卡紧，不能耽误哈工大的正事。”
谢凯也点头支持：“是的，宋教授。我们的技术不能只待在实验室和轧钢厂。油田的环境更恶劣，需求更直接，是检验和提升电子耳朵的绝佳试金石。说不定，那里发现的问题，能反向推动我们传感器和算法的改进。”
陈光远立刻道：“宋教授，我倒是有个办法，我给你们派一台车，从长春直接北上，经肇源进大庆，然后折向哈尔滨。虽然路难走点，但能深入油田腹地，看看真实工况。我估算，多花两天时间，但收获的价值可能远超这两天。”
想了想又道：“我让所里给大庆油田办个电话，就说北京来的技术专家，有一项可能对油田设备维护有革命性意义的新技术，想去做个短期调研交流。他们肯定欢迎！”
于是，行程就此改变。
第二天清晨，吉普车驶离长光所，迎着初冬的寒风，向北驶向辽阔的松嫩平原，驶向那片正被石油工人唤醒的黑色沃土。
汽车在东北平原上疾驰，窗外的景色变成了辽阔的、覆着薄雪的黑土地，一望无际。
偶尔路过的村庄，屋顶上积着雪，烟囱冒着笔直的炊烟。
车里，吕辰三人和司机张师傅聊得火热，从傻狍子到黄大仙，从长白参到大老虎，又从小鬼子到四野军……，一桩桩一件件，聊得兴致勃勃。
不知不觉，天色向晚，铅灰色的云层压得很低，旷野上的风裹挟着雪粒，抽打得吉普车帆布篷哗哗作响。
原计划赶到肇源县城，但一段被秋雨泡软又冻硬的车辙路让车速不得不一缓再缓。
“宋教授，看这天气，怕是赶不到了。”张师傅眯眼看了看天色，“前面快到新肇了，是个大镇。要不咱们找个地方借宿一宿？这路晚上走太危险。”
宋颜教授看了看表，又望向窗外苍茫的田野，点了点头：“安全第一。小吕，小谢，你们看呢？”
“听教授的。”吕辰应道。
吉普车拐下国道，驶入新肇镇。
街道两旁是低矮的砖房和土坯房，炊烟在寒冷的空气中笔直升起。
张师傅显然有些经验，直接将车开到了镇子东头一处看起来院落较宽敞的人家门前。
院门开着，能看到里面整齐的柴垛和一辆胶轮大车。
“老乡，打扰了！”张师傅下车话喊道，“我们去大庆公干，天晚了路不好走，想在咱这借个宿，方便吗？”
应声从院里出来的，二十多岁的汉子，个头高大，脸庞粗粝，但眼睛亮堂，透着一股利索劲儿。
他裹着一件旧军大衣，看到吉普车和陌生人，先是一愣，随即露出爽朗的笑容。
“同志，你们这是……？”
张师傅上前说明来意。
男子一听，立刻侧身往院里让：“快进来！北京来的专家同志？这可是贵客！媳妇，是去大庆的专家！”
这汉子姓杨，名叫杨大勇。
杨大勇高声让媳妇烧炕烧水，然后起身，拎起墙角一个旧布袋和一卷细铁丝，对吕辰等人咧嘴一笑：“吕同志，你们先坐着，我出去转转，看能不能给咱桌上添个菜。”
不等吕辰反应，他就闪身出了门，消失在东北隆冬的夜幕里。
约莫一个多小时后，就在吕辰等人已洗漱完，坐在热炕上整理资料时，院门响了。
杨大勇带着一身寒气进来，脸上挂着得意的笑容，从布袋里掏出两只羽毛鲜艳、还在扑腾的野鸡！
“运气不赖！”他嘿嘿笑着，“下晌看见它们在那片草稞子活动，就知道有戏。用了个活套，没伤着皮毛，肉也新鲜！”
他媳妇一边嗔怪丈夫瞎折腾，一边眼里满是自豪。
不到一小时，一盆热气腾腾、香气扑鼻的野鸡炖蘑菇就端上了炕桌。
那浓烈的、纯粹的野味鲜香，是吕辰两世为人记忆中都罕见的味道。
就着这盆珍馐，主客之间的生分彻底消融。
杨大勇讲他冬天套野鸡、夏天摸鱼的本事，讲镇上的趣事，眼神里闪着光说：“我报了名，开春可能就去大庆了！听说那儿缺人，能学开机器！”
吕辰等人听着，心中触动。
这个国家最深厚的伟力，不只在于他们正在攻关的精密芯片，也在于这片土地上无数个像杨大勇这样，充满生命力、学习欲和奉献精神的普通青年。
他们要做的，就是让前者的成果，更好地武装后者。
一夜无话，第二天告别时，杨大勇不仅指了路，还硬塞了一小包自家炒的松子：“路上嗑着解闷！同志们，一路顺风！等我去大庆学了技术，咱们还会再见！”
车子发动，吕辰回头望去，杨大勇站在晨光中用力挥手，身影挺拔如黑土地上的白杨。
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